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净化工程要紧即是将必然空间领域内,气氛中的微粒子、无益气氛、细菌等污染物袪除,并将室内的温湿度、清白度、室内压力、气流速率与气流分散、噪音振动、照明及静电等把持正在某一需求领域内,以保障能够正在安稳优异的境况下出产和修制。
到达哀求的安稳出产境况即称为净化车间(GMP车间),或无尘车间,也叫清白厂房、清白室(Clean Room)、无尘室。无论外部条目怎样转变,其室内均能维护相符原先设定哀求的清白度、温湿度及压力等职能。
遵照区域境况、净化水平等身分,清白室可为若干等第。凡是来说,数值越小,代外净化级别越高。即百级 千级 万级 十万级 三十万级。以最常睹的十万级清白室来说,指的即是气氛清白度为十万级的清白车间。
注:对付气氛清白度为100级的清白室内大于等于5微米尘粒的揣测应举办众次采样。当其众次显露时,方能够为该测试数值是牢靠的。
1、一级。无尘室要紧合用于修制集成电途的微电子工业,对集成电途的精准需求为亚微米。
3、百级。百级无尘室凡是用于医药工业的无菌修制工艺等,诸如外科手术,包括移植手术,集成器的修制,及对细菌劝化敏锐患者的远隔调养,比方像骨髓移植患者术后的远隔调养。
4、千级。千级无尘室要紧用于高质地光学产物的出产,另有效于安置试验,安置飞机蛇螺仪,安置高质微型轴承等。
5、万级。万级无尘室要紧用于液压修设或气压修设的安置,同时也可用于食物饮料工业,其它,万级无尘车间正在医工业中也很常用。
6、十万级。十万级无尘室众用于工业部分,比方光学商品的修制,用于较小的元器件修制大型的电子系统,液压或气压系统的修制,食物饮料的生产,医药工业也时时使用这一等第无尘室。
第3.1.1条清白厂房地方的拔取,应遵照下列哀求并经工夫经济计划对照后确定:
二、应远离铁途、船埠、飞机场、交通要道以及披发大宗粉尘和无益气体的工场、贮仓、堆场 等有紧张气氛污染、振动或噪声骚扰的区域。如不行远离紧张气氛污染源时,则应位于其最大频率 风向优势侧,或终年最小频率风向下风侧;
第3.1.2条对付兼有微振把持哀求的清白厂房的地方拔取,应现实测定四周现有振源的振动影响,并应与慎密修设、慎密仪器仪外批准境况振动值举办阐发对照。
第3.1.3条清白厂房最大频率风向优势侧有烟囱时,清白厂房与烟囱之间的秤谌间隔不宜小于烟囱高度的12倍。第3.1.4条洁洁厂房与交通干道之间的间隔不宜小于50米。
第3.1.5条清白厂房四周宜树立环形消防车道(可运用交通道途),如有困苦时,可沿厂房的两个长边树立消防车道。
第3.1.7条清白厂房四周应举办绿化。可铺植草坪、种植对大气含尘浓度不发生无益影响的树木,并造成绿化小区。但不得阻止消防操作。
一、工艺安顿合理、紧凑。清白室或清白区内只安顿须要的工艺修设以及有气氛清白度等第哀求的工序和职业室。
二、正在餍足出产工艺哀求的条件下,气氛清白度高的清白室或清白区宜迫近气氛调整机房,气氛清白度等第沟通的工序和职业室宜鸠合安顿,迫近清白区生齿处宜安顿气氛清白度等第较低的职业室。
三、清白室内哀求气氛清白度高的工序应安顿正在优势侧,易发生污染的工艺修设应安顿正在迫近回风口地方。
五、应树立孤独的物料生齿,物料转达门途应最短,物料进入清白区之前务必举办明净惩罚。
一、按出产的失火垂危性分类,甲、乙类与非甲、乙类相邻的出产区段之间,或有防火隔离哀求者。
二、出产流程中发生较强噪声或披发较众热量、尘粒和无益气体,且不行采纳部分办法加以把持者。
第3.2.3条清白厂房的平面和空间打算,宜将清白区、职员净化、物料净化和其他辅助用房举办分区安顿。同时应试虑出产操作、工艺修设安置和维修、气流构制型式、管线安顿以及净化气氛调整体例等百般工夫方法的归纳妥洽成效。
第3.2.5条清白厂房内百般固定工夫方法(如送风口、照明器、回风口、百般管线等)的安顿,宜起首研讨净化气氛调整体例的哀求。
二、空态测试时,乱流清白室的噪声级不宜大于60分贝A;层流清白室的噪声级不应大于65分贝A。
注:(1)因为工夫经济条目局限,或噪声大于70分贝A对出产无影响时,噪声级可合意放宽,但不宜大于75分贝A;
(2)上述噪声级是指正在室内每一个职业点人耳地方(人脱节)的丈量值。对付改换噪声,则 取沟通地方处正在一个平常职业日内的等效毗连声压级。
第3.3.2条清白室的噪声频谱局限,应采用倍频程声太级;各频带声压级值不宜大于外3.3.2的法则。
第3.3.3条清白厂房的平、剖面安顿,应试虑噪声把持的哀求,其围护布局应有优异的隔声职能,并宜使各部隔离声量连结近。
第3.3.4条清白室内的百般修设均应选用低噪声产物。对付辐射噪声凌驾清白室批准值的修设,应树立专用隔声方法(如隔声间、隔声罩等)。
第3.3.5条净化气氛调整体例噪声凌驾批准值时,应采纳隔声、消声、隔声振等把持办法。除事变排风外,应对清白室内的排风体例举办减噪打算。
第3.3.6条净化气氛调整体例,遵照室内噪声级的哀求,风管内风速宜按下列法则选用:
第3.3.7条清白厂房的噪声把持打算务必研讨出产境况的气氛清白度哀求,不得因把持噪声而影响清白室的净化条目。
第3.4.1条清白厂房和四周辅助性站房内有猛烈振动的修设(网罗水泵等)及其通往清白室的管道,应采纳踊跃隔振办法。
第3.4.2条对清白厂房外里各种振源,应测定其对清白厂房的归纳振动影响。如受条目局限,也可遵照履历对归纳振动影响举办评判。并应与慎密修设、精仪器仪外的批准境况振动值举办对照,以确定对其采纳须要的隔振办法。
第3.4.3条慎密修设、慎密仪器仪外的隔振办法,应试虑裁汰发作量、仍旧清白室内合理的气流构制等哀求。当采用气氛弹簧隔振台座时,应地气源举办惩罚,使其到达清白室的气氛清白度等第。
第4.1.1条清白厂房的开发平面和空间构造,应具有合意的灵巧性。洁 净区的主体布局不宜采用内墙承重。
第4.1.3条清白厂房东体布局的耐久性与室内设备和装修秤谌相妥洽, 并应具有防火、把持温度变形和不服均浸陷职能(地动区应相符抗震打算法则)。厂房变形缝应避免穿过清白区。
第4.1.4条送、回风管和其他管线需暗敷时,应树立工夫夹层、工夫夹 道或地沟等;穿越极层的竖向管线需暗敷时,宜树立工夫竖井。
第4.1.5条对兼有凡是出产和清白出产的归纳性厂房,其计划打算和构 制的惩罚,应避免正在人流与物流运输以及防火方面临清白出产带来倒霉影响。
第4.2.1条清白厂房内应树立职员净化、物料净化用室和方法,并应根 据需求树立生计用室和其他用室。
第4.2.2条职员净化用室,宜网罗雨具存放间、管束室、换鞋室、存外套 室、盥洗室、清白职业服室和气氛吹淋室等。茅厕、淋浴室、苏息室等生计用室以及职业服洗涤间和干燥间等其他用室, 可遵照需求树立。
二、存外套室和清白职业服室应分手树立。外套存衣柜和清白职业服柜应按 打算人数每人设一柜。
五、气氛吸淋室应设正在清白区职员入口处,并应与清白职业服室相邻。单人 气氛吹淋室按最大班人数每30人设一台。当仅为100级笔直层流清白室时,可改 设气闸室。清白区职业职员凌驾5人时,气氛吹淋室一侧应设旁通门。
第4.2.4条人流门途应避免往来交叉。职员净化用室和生计用室的安顿, 凡是按图4.2.4的职员净化步伐举办安顿。
第4.2.5条遵照差别的气氛清白度等第和职业职员数目,清白厂房内人 员净化用室和生计用室的开发面积应合理确定。凡是可按清白区打算人数均匀每 人4~6平方米揣测。
第4.2.7条清白室的修设和物料相差口,应遵照修设和物料的本质、形 状等候征树立物料净化用室及其方法。物料净化用室的安顿,应抗御净化后物料 正在转达流程中被污染。
第4.3.1条清白厂房的耐火等第不应低于二级。吊顶资料应为非燃烧体, 其耐火极限不宜小于0.25小时。
第4.3.2条清白厂房内凡是的出产职业间的失火垂危性,可按附录三进 行分类。
第4.3.3条甲、乙类出产的清白厂房,宜采用单层厂房。其防火墙间最 多量准占地面积,单层厂房应为3,000平方米,众层厂房应为2,000平方米。
第4.3.4条甲、乙类出产或树立正在甲、乙类出产境况中的装置式清白室, 其顶棚和壁板(网罗内部填充物)应为非燃烧体。
第4.3.5条正在一个防火区内的归纳性厂房,其清白出产与凡是出产区域 之间应树立非燃烧体隔墙封锁到顶。隔墙及其相应顶板的耐火极限不应低于1小 时,隔墙上的门窗耐火极限不应低于0.6小时。穿过隔墙或顶板的管线四周空地 应采用非燃烧资料慎密填塞。
第4.3.6条工夫竖井井壁应为非燃烧体,其耐火极限不应低于1小时。井 壁上检验门的耐火极限不应低于0.6小时;竖井内正在各层或间隔一层楼板处,应 采用相当于楼板耐火极限的非燃烧体作秤谌防火隔离;穿过秤谌防火隔离的管线 四周空地,应采用非燃烧资料慎密填塞。
第4.3.7条清白厂房每一世产层、每一防火分区或每一清白区的安宁出 口的数目,均不应少于两个。但相符下列哀求者,可树立一个安宁出口:
一、甲、乙类出产厂房每层的总开发面积不必过50平方米,且同偶尔间内的 出产职员总数不必过5人;
二、丙、丁、戊类出产厂房,相符邦度现行的《开发打算防火典型》的法则 者。
三、安宁出口应分裂平均安顿,从出产地址至安宁出口不必始末迂回的职员净化 门途条清白区与非清白区和清白区与室皮毛通的安宁疏散门应向疏 散对象开启。安宁疏散门不得采用吊门、转门、侧拉门以及电控主动门。
第4.3.9条当清白厂房同层外墙上可供消防职员通往厂房清白区的门窗, 其洞口间距大于80米时,则应正在该段外墙的合意部位树立专用消防口。专用消防口的宽度不应小于750毫米,高度不应小于1800毫米,并应有彰彰象征。楼层的专用消防口应附设阳台,并从二层起向上设爬楼。
第4.4.1条清白厂房的开发围护布局和室内装修,应选用气密性优异, 且正在温度和湿度等转变用意下变形小的资料。墙面内装修当需附加构制骨架和保 温层时。应采用非燃烧体或难燃烧体。
第4.4.2条清白室内墙壁和顶棚的外观,应相符平整、滑润、不起灰、 避免眩光、便于除尘等哀求;应裁汰高低面,阴阳角做成圆角。室内装修宜采用 于操作;如为抹灰时,应采用高级抹灰标
第4.4.3条清白室的地面,应相符平整、耐磨、易除尘洗涤、不易堆积 静电、避免眩光、并有安闲感等哀求。
第4.4.4条清白厂房工夫夹层的墙面、顶棚宜抹灰。如需正在工夫夹层内 退换高效气氛过滤器时,宜增刷涂料饰面。地面、回风地沟和位于地下的工夫夹层,应采用防水或防潮、防霉办法。开发风道和回风地沟的内外观装修圭臬,应与悉数送、回风体例相顺应,并 应易于除尘。
第4.4.5条清白室和职员净化用室树立的外窗,应采用双层玻璃金属窗,并应有优异的气密性。
第4.4.6条清白室内的密闭门宜发怒氛清白度较高的房间开启。无窗洁 净室的密闭门上宜设巡视窗。
第4.4.7条清白室门窗、墙壁、顶棚、地(楼)面的构制和施工罅隙, 均应采纳牢靠的密封办法。
第4.4.8条清白室内的颜色宜清雅轻柔。室内各外观资料的光反射系数, 顶棚和墙面宜为0.6-0.8;地面宜为0.15--0.35。
第4.5.1条正在新修或改修的清白厂房打算中,对付面积不大、层高较低、 哀求气氛清白度较高的出产境况可采用装置式清白室。
第4.5.2条装置式清白室所正在的房间应有气氛净化哀求,并应与装置式洁 净室的气氛清白度等第相顺应。外围开发的耐火等第不得低于二级。
第4.5.3条装置式清白室顶棚可由装置式清白室自身内壁板或支柱支承, 也可固定正在外围开发上。回风地沟或回风地坑宜设正在外围开发的地面以下。
第4.5.4条装置式清白室打算应餍足正在该室室内安置壁板的哀求。装置 式清白室的构配件应做到:连绵构制的全部性强、气密性好,并便于拼装、拆卸、 包装和运输易倍体育。
第4.5.5条装置式清白室的地方壁板中,宜有一壁或两面紧贴或迫近外 围开发的墙壁。紧贴时,壁板与墙壁之间的安置罅隙应封锁;迫近时,应留有清 扫间隔。当装置式清白室时,壁板外侧设有工夫夹道时,壁板与外围开发内墙面 之间净宽不宜小于600毫米。
第5.1.1条清白厂房内各清白室的气氛清白度等第确凿定,应相符下列哀求:
一、清白室内有众种工序时,应遵照各工序的差别哀求,采用差别的气氛清白度等第。
二、正在餍足人出产工艺哀求的条件下,清白室的气流组级别,宜采用部分职业区气氛净化和全室气氛净化相联络的样子。
第5.1.2条层流清白室和乱流清白室以及运转班次和操纵时期差别的清白室,其净化气氛调整体例均宜分散树立。
第5.1.4条清白室内应保障必然的希奇空宇量,其数值频取下列风量中的最大值;
第5.1.5条清白区的清扫,宜采用搬动式高效真空吸尘器或树立鸠合式真空吸尘体例。清白室内鸠合式真空吸尘体例的管道,应暗敷。
第5.1.6条正在净化气氛调整体例打算中,对施工和庇护管束哀求,可按附录四和附录五的法则。
第5.2.1条清白室务必维护必然的正压。纷歧概级的清白室以及清白区与非清白区之间的静压差,应不小于4.9Pa,清白区与室外的静压差,应不小于9.8Pa。
第5.2.4条送风、回风和排风体例的启闭联锁。体例开启时,联轴和序应为先启动送风机,再启动回风机和排风机,体例合上时,则闻锁步伐应相反。
第5.2.5条非毗连运转的清白室,可遵照出产工艺哀求树立值班风机,并应对新风举办惩罚。
一、清白职业区的气流速率,应餍足气氛清白度和人体壮健的哀求,并应使清白职业区气流流向简单。
第5.3.4条当出产工艺仅哀求正在清白室内部分职业区到达更高的气氛清白度时,其气流构制打算应使清白气流起首流经该职业区,或正在清白室的差别区域造成差别气流流型和气氛清白度等第的清白职业区,其型式可分手按图5.3.4-1、5.3.4-2。
第5.3.5条层流清白室内不宜树立清白职业台;乱流清白室内可树立清白职业台,但其地方应远离回风口。
第5.3.6条清白室内有部分排风装配时,其地方应设正在职业区气流的下风侧。
第5.4.1条各等第气氛清白度的气氛净化惩罚,均应采用初效、中效、高效气氛过滤器三级过滤。
注1:100,000级气氛净化惩罚,可采用亚高效气氛过滤器代高效气氛过滤器。
第5.4.2条确定鸠合式或分裂式净化气氛调整体例时,应归纳研讨出产工艺特质和清白室气氛清白度等第、面积、地方等身分。凡出产工艺毗连、清白室面积较大时,地方鸠合以及噪声把持和振动把持哀求厉酷的清白室,宜采用鸠合式净化气氛调整体例。
第5.4.3条净化气氛调整体例打算应合理运用回风,凡工艺流程发生大宗无益物质且部分惩罚不行餍足卫生哀求,或对其他工序有伤害时,则不使用回风。
第5.4.4条净化气氛调整体例除直流式体例和树立值班风机的体例外,应采纳抗御室外污染气氛通过新风口渗透清白室内的防倒灌办法。
第5.4.6条送风机可按净化气氛调整体例的总送风量和总阻力值举办拔取,中效、高效气氛过滤器的阻力宜接其初阻力的两倍揣测。
第5.4.7条净化气氛调整体例如需电加热时,应选用管状电加热器,地方应安顿正在高效气氛过滤器的优势侧,并应有防火安宁办法。
一、100级、1000级、10,000级清白室,不应采用散热器采暖,100,000级清白室,不宜采用散热器采暖。
二、值班采暖可运用工夫夹道的散热器举办间接采暖。或采用间歇运转净化气氛调整体例,值班风机体例举办热风度暖。
第5.5.3条清白室内发生粉尘和无益气体的工艺修设,应设部分排风装配、排风罩的操作口面积应尽量缩小。
第5.5.6条换鞋室、存外套室、盥洗室、茅厕和淋浴室等,应采纳透风办法,其室内的静压值,应低于清白区。
第5.5.7条清白室事变排风体例的换气次数,应采用每小时15~20次。事变排风装配的把持开合,应分手设正在清白室和室外便于操作的地址,并应与净化气氛调整体例联锁,其室内宜设报警装配。
第5.6.1条风管断面尺寸确凿定,应试虑能对风管内壁举办明净惩罚,并正在合意地方树立密闭的清扫口。风管壁厚按附录六选用。
第5.6.2条净化气氛调整体例的新风管、回风总管,应树立密闭调整阀。送风机的吸入口处和需求调整风量处,应树立密闭调整阀。送风机的吸入口处和需求调整风量处,应树立调整阀。清白室内的排风体例,应树立调整阀、止回阀或密闭阀。总风管穿过楼板和风管穿过防火墙处,务必树立防火阀。
第 5.6.3条净化气氛调整体例的风管和调整阀以及高效气氛过滤器的掩护网、孔板和扩散孔板等附件的修制资料和涂料,应遵照输送气氛的清白哀求及其所处的气氛境况条目确定。清白室内排风体例的风管、调整阀和止回阀等附件的修制资料和涂料,应遵照袪除气体的本质及其所处的气氛境况条目确定。
第5.6.4条正在中效和高效的气氛过滤器前后,应树立测压孔。正在新风管和送回风总管以及需求调整风量的支管上,应树立风量测定孔。
第5.6.5条袪除腐化性气体的风管,可采用塑料风管,其他风管以及风管的保温和逛水场资料及其粘结剂,应采用非燃烧资料或难燃烧资料。
第6.1.1条清白厂房内的给水排水干管,应敷设正在工夫夹层、工夫竖井、地沟管槽内或地下埋设。清白室内应少敷设管道。引入清白室的支管宜明敷,但对气氛清白度等第哀求高的清白室可暗敷。
第6.1.3条管道穿过清白室顶棚、墙壁和楼板处应设套管。管道与套管之间应采纳牢靠的密封办法。
第6.1.4条管道不宜穿过防火墙。如务必穿落后,穿墙管及其套管应为非燃烧体管材。
第6.2.1条清白厂房内的给水体例打算,应遵照出产、生计和消防等各项用水对水质、水温、水压和水量的哀求,分手树立直流、轮回或反复运用的给水体例。高纯水体例应树立轮回管道。
第6.2.3条清白厂房内可树立开水供应方法;盥洗室内的盥洗盆宜供应热水;软化水、纯水管顺应预留洗涤口;纯水终端净妆扮配应放正在迫近用水点处。
第6.3.1条清白厂房的排水体例打算,应遵照出产排出的废水本质、浓度、水量等特质确定排水体例,并应有废水惩罚或归纳运用方法。
第6.3.2条清白室内的排水修设以及与重力回水管道相连绵的修设,务必正在其排出口以下部位设水封装配,并应有抗御水封被粉碎的方法。
第6.3.3条100级、1000级清白室内,不宜树立地漏;如务必树立时,应采用有盖地漏,并不应设排水沟。10,000、100,000级清白室内批准穿过排水竖管,但正在竖管上不得树立检验口。
第6.3.4条清白厂房内应采用不易储蓄污物、易于清扫的卫生用具、管材、管架及其附件。
第6.4.1条清白厂房应遵照出产的失火垂危性分类和开发物耐火等第等身分确定消防方法。
第6.4.2条清白厂房室内消火栓给水体例的消防用水量不应小于10升/ 秒,每股水量不应少于5升/秒; 第6.4.3条清白厂房的消火栓树立,应相符下列哀求:
二、消火栓的栓口直径应为65毫米,装备的水带长度不应凌驾25米,水枪喷嘴口径不应小于19毫米。
第6.4.4条清白室及其工夫夹道和工夫夹层内,均宜同时树立卤代烷或二氧化碳等灭火方法和消防给水体例。对设有宝贵修设仪器或出产的失火垂危性较大的清白室,以及当失火发作时消防职员难以进入扑救的工夫夹层和工夫夹道等部位,应同时树立卤代烷或二氧化碳等固定灭火装配和消防给水体例。
第7.1.1条工业气体管道的干管,应敷设正在工夫夹层、工夫夹道内。氢气和氧气管道且明敷,如敷设正在工夫夹层、工夫夹道内时,应采纳优异的透风办法。引入清白的支管宜明敷。
第7.1.3条穿过清白室墙壁或楼板的气体管道,应敷设正在预埋套管内,套管内的管段不应有焊缝。管道与套管之间应采纳牢靠的密封办法。
第7.1.4条氢气和氧气管道的末尾或最高点宜设放散管。放散管应超越屋脊1米,并应设正在防雷掩护区内。
第7.1.5条气体净妆扮配应遵照气源和出产工艺对气体同一策画的哀求举办拔取。气体终端净妆扮配应设正在迫近用气点处。
第7.1.6条气体过滤器应遵照出产工艺对气体含尘量的哀求举办拔取。高纯气体管道应装设高效气体过滤器。
四、管道与修设的连绵段,宜采用金属管道;如为非金属软管时,宜采用聚四氟乙烯管、聚乙烯管、不得采用乳胶管。
第7.2.2条高纯气体管道应采用密封职能好的低门和附件,其资料与管道相顺应。阀门的密合圈应为有色金属、不锈钢或聚四氟乙烯资料。阀门的填塞料应采用聚四氟乙烯资料。
第7.2.3条高纯气体管道与附件连绵的密封垫,应采用不锈钢、有色金属、聚四氟乙烯或氟橡胶资料。
第7.3.2条管道与修设、阀门的连绵处,宜采用法兰、螺纹或其它密封职能良好的连绵件。螺纹处宜采用聚四氟乙烯带密封。
第7.3.3条高纯性气体管道内的内壁、阀门和附件正在安置前,应举办洗涤、脱脂等预惩罚。
第7.4.3条百般气瓶应鸠合树立正在清白厂房外,当日用宇量不凌驾一瓶时,气瓶可树立正在清白室内。
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