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　　什么是净化车间： 净化车间也叫无尘车间、清洁室、无尘室等，是指将肯定空间周围之内的气氛中的微粒子、无益气体、细菌等之污物排 除，并将室内之温度、清洁度、室内压力、气流速率与气流散布、噪音轰动及照明、静电负责正在某一需求周围之内，给 予特地之策画的房间。也即是非论外正在之气氛要求怎么转化，其室内均能具有保护原先所设定条件之清洁度、温湿度及 压力等本能之特色。 净化车间资料是净化厂房墙、顶板材凡是众采用50mm厚的夹芯彩钢板制作，其特质为漂后、刚性强、保温本能好、易 施工。圆弧墙角、门、窗框等凡是采用专用氧化铝型材制作地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板，有防静电 条件的，可选用防静电型。送回风管道用热渡锌板制成，贴净化保温功效好的阻燃型PF发泡塑胶板高效送风口用不锈 钢框架，漂后明净，冲孔网板用烤漆铝板。 遵守邦际常规，无尘车间净化级别闭键是凭据每立方米气氛中粒子直径大于划分程序的粒子数目来轨则。也便是说所谓 无尘并非100%没有一点尘埃，而是负责正在一个至极微量的单元上。当 然这个程序中合适尘埃程序的颗粒相看待咱们常 睹的尘埃一经是小的微乎其微，然而看待光学构制而言，哪怕是一点点的尘埃都邑发作至极大的负面影响，是以正在光 学 构制产物的出产上，净化车间无尘是必定的条件。 净化车间无尘室等第分类： 全邦各邦均有自定例格，但众数仍旧用美邦联邦程序209为众，以下仅就209D及209E和全邦上其它各邦拟订程序作介 绍与彼此对比。 209E与209D等最大之差异正在于209E暗示单元推广了公制单元，清洁室等第以‵M′字头暗示，如M1、M1.5、M2.5、 M3…..依此类推，配合邦际公制单元之程序化易倍体育，M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中=0.5µm之微尘粒子数目字 以10的幂次方暗示，取指数为之，若微尘粒子数介于前后二者齐全幂次方之间，则以1.5、2.5、3.5….暗示。 清洁网 z:Wg1pj 美邦联邦程序FS 209D都以英制每立方英呎为单元，日本则是采用公制，即以每立方公尺为单元，以0.1µm微粒子为计 数程序。日本程序之暗示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8暗示，最好的等第为Class 1，最差则为Class 8， 以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方，取其指数而得。 净化车间的效率： 净化车间最闭键之效率正在于负责产物（如硅芯片等）所接触的大气的清洁度以及温湿度，使产物能正在一个杰出之境况空

　　拟订净化车间施工措施外：扶植净化车间有先后的纪律，杜绝哪部门资料先到就先施工哪部门的极度谬误做法，避免污 染。答允同时施工的各部门要防备相互间的承接干系，须要时应绘制施工二Biblioteka Baidu策画图。

　　高效过滤器的装配：净化车间装配高效过滤器之前，应彻底做好明净任务，净化送、回风编制接连试运转24小时后，再 次明净清洁室后，速即装配高效过滤器。

　　做好净化车间的密封任务：清洁车间的气流要有序滚动，遵守策画者的妄思滚动，不该漏的地方绝对不行漏。良众人认 为净化车间施工时为了均衡新风，要排掉一部门室内的气氛，漏一点也无所谓，这种主张是不行取的。

　　其他事项：净化车间施工前对原有的开发举行彻底的清扫和修补任务，对原有的门窗要做好密封任务。清洁车间超纯水 和超纯气编制的装配必需请有天性的专业职员举行。

　　净化车间最闭键之效率正在于负责产物（如硅芯片等）所接触的大气的清洁度以及温湿度，使产物能正在一个杰出之境况空 间中出产、制作，此空间咱们称之为净化车间。遵守邦际常规，无尘净化级别闭键是凭据每立方米气氛中粒子直径大于 划分程序的粒子数目来轨则。也便是说所谓无尘并非100%没有一点尘埃，而是负责正在一个至极微量的单元上。当然这 个程序中合适尘埃程序的颗粒相看待咱们常睹的尘埃一经是小的微乎其微，然而看待光学构制而言，哪怕是一点点的灰 尘都邑发作至极大的负面影响，是以正在光学构制产物的出产上，无尘是必定的条件。

　　每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数目负责正在3500个以下，就到达了邦际无尘程序的A级。目前运用正在芯片级出产加 工的无尘程序看待尘埃的条件高于A级，云云的高标闭键被运用正在少许等第较高芯片出产上。5µm及以下的微尘数目被 厉苛负责正在每立方米1000个以内，这也便是业内俗称的1K级别。

　　清洁送、回风编制风管的施工：风管内轮廓必需平整滑腻，风管装配之后、保温之前应举行漏风检验。风管与部件支、 吊架的预埋件、射钉或膨胀螺栓的地方应精确，坚硬牢靠，埋入部门应去除油污，并不得涂漆。

　　筑设专用仓储间：扫数资料和筑造仿单和及格证均应停当保管，以便落成验收后将材料完备的移交给用户。筑造和材 料抵达净化车间施工现场时，应厉苛检验，各类历程器开箱检验后应从新封存。