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　　【专利摘要】本适用新型公然了一种净化车间，其搜罗车间和设于车间外顶部的净化空调机组，车间设有穿过车间墙壁的排风管，排风管的排风出口通过回风管与净化空调机组的回风口连通，净化空调机组还设有与新风管连通的新风口，净化空调机组的送风口连通穿过车间墙壁的送风管，送风管位于车间内的送风口处设有高效过滤器；回风管、新风管以及送风管的管道上辞别设有效于限制风量的回风医治阀、新风医治阀以及送风医治阀，车间内设有静压检测仪，其电相连限制器，限制器电相连回风医治阀、回风医治阀以及送风医治阀。该净化车间适合电子化学品、光学构制产物等对车间净化水准有苛酷哀求的产物临蓐、装置。

　　[0001]本适用新型涉及化工规模，全部涉及一种可用于液体电子化学品临蓐的净化车间。

　　[0002]超净高纯试剂产物是一类微粒杂质有苛酷哀求的试剂产物，如微电子行业中的稀释剂、剥离液、冲洗剂、蚀刻剂等电子化学品均属于这类试剂。电子化学品依照纯度首要分为UP-S级、UP级易倍体育官方网站、EL三个等第。个中，以UP-S级为例，UP-S级电子化学品实用于

　　0.35、.8 μ m集成电道加工工艺，须要限制金属杂质含量小于lppb、^ 0.5 μ m粒子数目正在5个/mL以内、彡0.2μπι粒子数目正在200个/mL以内。为此，这类产物须要正在具有净化处境的车间中实行临蓐，凡是哀求抵达100级以至1000级处境，即 0.5 μ m颗粒不逾越100或1000个/mm3气氛。别的，还哀求:车间具有l(Tl5mm汞柱的正压，以避免车间外处境中的粉尘等进入车间，形成污染；车间温度支柱为恒温，以避免温度对物质的融化点等物性参数形成影响。

　　[0003]为净化车间，须要装置一台用于过滤车间处境内气氛、并使车间内气氛恒温的净化空调机组。为了便当装配，目前的净化空调机组装配于地面，其送风管从地面的净化空调机组平素延长至车间顶部再送入车间。这种净化车间的瑕玷之一是，送风管长，管道热能亏损大，故为坚持净化车间的25±3°C的恒温处境，限制主机须要添加能源花费，特别是净化车间须要一天24小时不间断地坚持恒温处境，其能源花费更是远大。其二是，送风管的管道凡是采用镀锌铁皮，其正在接续的操纵历程中，其内管壁会产生金属颗粒的零落，跟着抽送的气氛进入车间，形成对车间的二次污染；送风管长度大，更添加了这种二次污染的也许性。

　　[0004]本适用新型的方针正在于征服现有本领中存正在的缺陷，供给一种耗能少、且能有用征服风管对车间二次污染的净化车间。

　　[0005]为此，本适用新型是一种净化车间，其搜罗车间和设于车间外顶部的净化空调机组，车间设有穿过车间墙壁的排风管，排风管的排风出口通过回风管与净化空调机组的回风口连通，净化空调机组还设有与新风管连通的新风口，净化空调机组的送风口连通穿过车间墙壁的送风管，送风管位于车间内的送风口处设有高效过滤器；回风管、新风管以及送风管的管道上辞别设有效于限制风量的回风医治阀、新风医治阀以及送风医治阀，车间内设有静压检测仪，其电相连限制器，限制器电相连回风医治阀、回风医治阀以及送风医治阀。

　　[0006]优选的本领计划是，所述净化空调机组搜罗用于搀杂新风和回风的搀杂段、过滤段、加热冷却段、风机段和用于向送风口送风的送风段。

　　[0007]为了提升恒温后果和过滤后果，优选的本领计划是，所述加热冷却段设有板式换热器；所述过滤段搜罗初效过滤段和中效过滤段，所述加热冷却段与所述风机段位于初效过滤段和中效过滤段之间。

　　[0008]为了避免送风管污染送风管内的气氛，优选的本领计划是，所述送风管的管壁为复合机合，搜罗正在外的金属层和正在内的塑料涂层。也能够将策画所述排风管、回风管和新风管的管壁均为复合机合，搜罗正在外的金属层和正在内的塑料涂层。塑料涂层能够起到征服金属送风管永远操纵后脱屑的题目。这里，所述金属层可认为镀锌铁皮层，所述塑料涂层可认为环氧树脂涂层。

　　[0009]为了使车间的气流更为匀称平定、轮回实行得更为高效，优选的本领计划是，所述送风管搜罗与所述净化空调机组的送风口连通的主送风管和与主送风管连通的、位于车间内的若干分送风管。

　　[0010]为了使车间的气流更为匀称平定、车间的气流轮回实行得更为高效，优选的本领计划是，所述排风管的排风进口有若干个，且各排风进口设有吸风罩。

　　[0011]为了提升送风管和高效过滤器的坚硬性，优选的本领计划是，所述送风管以及所述高效过滤器通过净化的钢构固定于车间的天花板下方。

　　[0012]本适用新型的长处和有益后果正在于:将净化空调机组由地面改变至车间外顶面，缩短了送风管的长度，低重了送风管内的热能亏损，进而低重了主机为完成恒温的能耗；缩短了送风管的长度，也低重了管道内金属颗粒零落、进而车间二次污染的几率；其余还正在车间内配置了静压检测仪限制回风阀、新风阀和送风阀，包管了车间内的正压且压力恒定，征服了因开门、开合机导致的车间内压力的动摇，避免了压力动摇导致的车间污染。为了进一步征服管道内颗粒零落导致车间二次污染的题目，采用了对守旧的镀锌铁皮管的内壁实行环氧涂层涂覆治理，有用地包管管道格外是送风管正在长韶华操纵历程中不脱屑。该净化车间适合电子化学品、光学构制产物等对车间净化水准有苛酷哀求的产物临蓐、装置。

　　[0014]图中:1、车间；2、净化空调机组；3、排风管；4、回风管；5、新风管；6、送风管；7、高效过滤器；8、静压检测仪；9、限制器；10、机台；11、钢构；21、搀杂段；22-1、初效过滤段；22-2、中效过滤段；23、加热冷却段；24、风机段；25、送风段；31、吸风罩；41、回风医治阀；51、新风医治阀；61、送风医治阀。

　　[0015]下面集合附图，对本适用新型的【全部践诺格式】作进一步描画。以下践诺例仅用于特别通晓地声明本适用新型的本领计划，而不行以此来局部本适用新型的庇护畛域。

　　[0016]为此，本适用新型是一种净化车间，如图1所示，其搜罗车间I和设于车间外顶部的净化空调机组2，车间I内设有机台10，车间I设有穿过车间墙壁的排风管3，排风管3位于车间I外的排风出口通过回风管4与净化空调机组2的回风口连通，净化空调机组2还设有与新风管5连通的新风口，净化空调机组2的送风口连通穿过车间墙壁的送风管6，送风管6位于车间内的送风口处设有高效过滤器7 ;回风管4、新风管5以及送风管6的管道上辞别设有效于限制风量的回风医治阀41、新风医治阀51以及送风医治阀61，车间I内设有静压检测仪8。静压检测仪8电相连限制器9，限制器9电相连回风医治阀41、回风医治阀51以及送风医治阀61。

　　[0017]净化空调机组2搜罗用于搀杂新风和回风的搀杂段21、过滤段、加热冷却段23、风机段24和用于向送风口送风的送风段25。加热冷却段23设有板式换热器；过滤段搜罗初效过滤段22-1和中效过滤段22-2，加热冷却段23与风机段24位于初效过滤段22_1和中效过滤段22-2之间。

　　[0018]为了避免送风管6污染送风管6内的气氛，送风管6的管壁为复合机合，搜罗正在外的金属层和正在内的塑料涂层。也能够将策画排风管3、回风管4和新风管5的管壁均为复合机合，搜罗正在外的金属层和正在内的塑料涂层。塑料涂层能够起到征服金属送风管永远操纵后脱屑的题目。这里，金属层可认为镀锌铁皮层，塑料涂层可认为环氧树脂涂层。

　　[0019]为了使车间的气流更为匀称平定、气流轮回实行得更为高效，送风管6搜罗与净化空调机组2的送风口连通的主送风管62和与主送风管62连通的、位于车间内的若干分送风管63;排风管3位于车间I内的排风进口有若干个，且各排风进口设有吸风罩31。

　　[0020]为了提升装配安闲性，能够通过净化的钢构11将送风管6以及高效过滤器7固定于车间I的天花板下方。

　　[0021]以上所述仅是本适用新型的优选践诺格式，应该指出，对付本【本领规模】的浅显本领职员来说，正在不离开本出现本领道理的条件下，还能够做出若干修正和润饰，这些修正和润饰也应视为本适用新型的庇护畛域。

　　1.一种净化车间，其特点正在于，搜罗车间和设于车间外顶部的净化空调机组，车间设有穿过车间墙壁的排风管，排风管的排风出口通过回风管与净化空调机组的回风口连通，净化空调机组还设有与新风管连通的新风口，净化空调机组的送风口连通穿过车间墙壁的送风管，送风管位于车间内的送风口处设有高效过滤器；回风管、新风管以及送风管的管道上辞别设有效于限制风量的回风医治阀、新风医治阀以及送风医治阀，车间内设有静压检测仪，其电相连限制器，限制器电相连回风医治阀、回风医治阀以及送风医治阀。

　　2.依据权益哀求1所述的净化车间，其特点正在于，所述净化空调机组搜罗用于搀杂新风和回风的搀杂段、过滤段、加热冷却段、风机段和用于向送风口送风的送风段。

　　3.依据权益哀求2所述的净化车间，其特点正在于，所述加热冷却段设有板式换热器；所述过滤段搜罗初效过滤段和中效过滤段，所述加热冷却段和所述风机段位于初效过滤段和中效过滤段之间。

　　4.依据权益哀求1所述的净化车间，其特点正在于，所述送风管的管壁为复合机合，搜罗正在外的金属层和正在内的塑料涂层。

　　5.依据权益哀求4所述的净化车间，其特点正在于，所述排风管、回风管和新风管的管壁均为复合机合，搜罗正在外的金属层和正在内的塑料涂层。

　　6.依据权益哀求4或5所述的净化车间，其特点正在于，所述金属层为镀锌铁皮层，所述塑料涂层为环氧树脂涂层。

　　7.依据权益哀求1所述的净化车间，其特点正在于，所述送风管搜罗与所述净化空调机组的送风口连通的主送风管和与主送风管连通的、位于车间内的若干分送风管。

　　8.依据权益哀求7所述的净化车间，其特点正在于，所述排风管的排风进口有若干个，且各排风进口设有吸风罩。

　　9.依据权益哀求7所述的净化车间，其特点正在于，所述送风管以及所述高效过滤器通过净化的钢构固定于车间的天花板下方。

　　【出现者】殷福华, 朱永刚, 朱龙, 赵文虎 申请人:江阴江化微电子质料股份有限公司

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