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　　无尘车间内的气流是旁边无尘车间机能的紧要身分，平常无尘车间的气流速率是选0。25~0。5m/s之间,此气流速率属和风区域,易受人、呆板等的行为而作梗趋于庞杂、虽升高风速可制止此一侵扰之影响而保留清洁度、但因风速的升高，将影响运转本钱的填补，以是应正在满意请求的清洁度水准之时，能以最妥当的风速供应，以抵达妥当的风速供应以抵达经济性后果易倍体育网站。

　　长处：构制粗略、体系筑形成本，无尘车间之扩充比拟容易，正在某些出格用处场面，可并用无尘作事台，升高无尘车间等第。

　　误差：乱流形成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产物。其余若体系勾留运转再激活,欲达需求之清洁度，往往须耗时相当长一段岁月。

　　层流式气氛气流运动成一平均之直线％之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式合用于无尘车间等第需定较高之境遇行使，平常其无尘车间等第为Class 1~100。其型式可分为二种：

　　（2）、生物无尘车间，厉重统制有人命微粒(细菌)与无人命微粒（灰尘）对作事对象的污染。又可分为； A、 平常生物无尘车间，厉重统制微生物(细菌）对象的污染。同时其内部原料要能经受各样灭菌剂腐蚀，内部平常保障正压.本质上其内部原料要能经受各样灭菌管束的工业无尘车间.例:制药工业、病院（手术室、无菌病房)食物、化妆品、饮料产物坐蓐、动物试验室、理化检查室、血站等。

　　此型式需将功课职员之作事区与产物和呆板维修予以隔绝，以避免呆板维修时影响了作事及品德，ULSI制程多数采用此种型式。

　　清洁地道另有二项长处：A。弹性扩充容易； B.维修设置时可正在维修区随便履行。

　　(2)清洁管道（Clean Tube)：将产物流程历程的主动坐蓐线覆盖并净化管束，将清洁度等第提至100级以上。因产物和功课员及发尘境遇互相隔绝，少量之送风即可取得杰出之清洁度，可节俭能源，不需人工的主动化坐蓐线为最适宜行使。药品、食物业界及半导体业界均合用。

　　(1）程度层流式：程度式气氛自过滤器单对象吹出，由对边墙壁之回风体系回风，灰尘随风向排出室外,平常不才流侧污染较紧要。

　　(2）笔直层流式:房间天花板一律以ULPA过滤器掩盖，气氛由上往下吹，可得较高之清洁度,正在制程中或作事职员所出现的灰尘可迅疾排出室外而不会影响其它作事区域。

　　无尘车间的清洁度往往受到气流的影响，换言之，即人、呆板隔间、筑设机闭等所出现的灰尘之转移、扩散受到气流的掌握。

　　无尘车间系愚弄HEPA、ULPA过滤气氛，其灰尘的征采率达99。97~99。99995%之众，是以历程此过滤器过滤的气氛可说异常清洁。然而无尘车间内除了人以外,尚有呆板等之发尘源，这些发作的灰尘一朝扩散，即无法保留清洁空间，是以必需愚弄气流将发作的灰尘缓慢排出室外.

　　（3)并装限制无尘车间(Clean Spot):将无尘车间等第10，000～100,000之乱流无尘车间内之产物制程区的清洁度等第升高为10～1000级以上,认为坐蓐之用；清洁作事台、清洁作事棚、清洁风柜即属此类.

　　清洁作事棚：为正在乱流式之无尘车间空间内以防静电之透后塑料布围成一小空间，采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之清洁空间，其等第为10～1000级，高度正在2。5米旁边，掩盖面积约10m2以下，四支支柱并加装行为轮,可为弹性利用.

　　无尘车间最厉重之功用正在于统制产物（如硅芯片等)所接触之大气的清洁过活及温湿度，使产物能正在一个杰出之境遇空间中坐蓐、创设，此空间咱们称之为「无尘车间」.

　　3、特质:乱流无尘车间是靠众次换气来实行清洁与清洁级别。换气次数断定界说中的净化级别(换气次数越众，净化级别越高) .

　　（1）、自净岁月：是指无尘车间按安排换气次数起初送风到无尘车间，室内含尘浓度抵达所安排的净化级此外岁月。 1,000级盼望不突出20min(分钟) (可取15min准备) 10,000级盼望不突出30min(分钟) (可取25min准备） 100,000级盼望不突出40min（分钟） (可取30min准备）

　　B、 生物学安宁无尘车间：厉重统制作事对象的有人命微粒对外界和人的污染。内部要保留与大气的负压。例：细菌学、生物学、清洁试验室、物物工程（重组基因、疫苗制备)。

　　1、界说：乱流无尘车间的界说是气流以不服均速率、不服行活动、伴有回流或涡流的无尘车间.

　　2、道理：乱流无尘车间靠送习尚流一贯稀释室内气氛，将污染气氛渐渐稀释，来实行清洁的（乱流无尘车间平常安排正在千级以上至30万级净化级别）。

　　无尘车间之筑设主体构制，平常是用钢筋或骨水泥，但无论是何种构制，必需满意如下之前提：

　　（1）、工业无尘车间——以无人命微粒的统制为对象。厉重统制气氛灰尘微粒对作事对象的污染，内部平常保留正压状况. 它合用于精细刻板工业、电子工业（半导体、集成电途等)宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产物工业（光盘、胶片、磁带坐蓐）LCD（液晶玻璃）、电脑硬盘、电脑磁头坐蓐等众行业。

　　无尘车间内的作事桌等荆棘物,正在连续处均会有涡流景象发作，相对地正在其相近之清洁度将会较差，正在作事桌面钻上回风孔,将使涡流景象省略最低；拼装原料之拣选是否妥当、设置构造是否完整，亦为气流是否成为涡流景象之紧要身分.

　　无尘车间的组成是由下列各项体系所构成（正在所构成的体系分子中是缺一不成的),不然将无法组成一完善且品德杰出的无尘车间：

　　影响无尘车间的气流身分良众，如制程设置、职员、无尘车间拼装材、照明用具等，同时对待坐蓐设置上方气流的分流点，亦应列入酌量身分。

　　平常操作台或坐蓐设置等皮相的气流分流点，应设于无尘车间空间与隔墙板间距2/3之处，这样可使功课职员作事时，气流可从制程区内部流向功课区，而将微尘带走；若分流点摆设正在制程区前哨，将成为失当的气流分流，此时大部份的气流将流至制程区之后，功课员操作所惹起的灰尘将被带到设置后面,作事台于是将受到污染,良率也势必低重。

　　气氛由空调箱经风管与无尘车间内之气氛过滤器(HEPA)进入无尘车间，并由无尘车间两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规矩之乱流或涡流状况。此型式合用于无尘车间等第1,000-100,000级.

　　另一方面欲抵达无尘车间清洁度之安定后果，均一气流之保留亦为一紧要身分，均一气流若无法保留，透露风速有异，出格是正在壁面，气流会延着壁面发作涡流功用，此时要实行高清洁度底细上很坚苦。

　　笔直层流式对象要保留均一气流必需：(a)吹出头的风速不成有速率上的不同；(b)地板回风板吸入面之风速不成有速率上的不同。速率过低或过高(0.2m/s，0.7m/s）均有涡流之景象发作,而0。5m/s之速率，气流则较均一,目前平常无尘车间,其风速均取正在0.25～0.5m/s之间.

　　无尘车间是指将必定空间畛域内之气氛中的微粒子、无益气氛、细菌等之污染物驱除，并将室内之温度、清洁度、室内压力、气流速率与气流散布、噪音振动及照明、静电统制正在某一需求畛域内，而所予以出格安排之房间。亦即是非论外正在之气氛前提若何蜕变，其室内均能俱有支撑原先所设定请求之清洁度、温湿度及压力等机能之特质。

　　长处:打点容易，运转起初短岁月内即可达安定状况，不易为功课状况或功课职员所影响。

　　误差：构制用度较高，弹性利用空间坚苦，天花板之吊架相当占空间，维修改换过滤器较烦杂.

　　(1）清洁地道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或作事区域100%掩盖使清洁度等第升高至10级以上，可节俭安设运转用度。