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十级的无尘车间紧要用于带宽小于2微米的半导体工业,采用FFU满布,欺骗超高效氛围过滤器,地板用高架地板创制。
什么是十级无尘车间?十级无尘车间是指将必然空间限制内的氛围中的微粒子、无益氛围、无益菌群等污染物拂拭,并将室内温度、湿度、清白度、室内压力、气流速率与气流分散、噪音振动及照明、静电管制正在某一需求限制内,非论外正在境遇要求何如蜕变,无尘车间内均能维护设定所请求的清白度、温湿度及压力等机能。
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